TDK relyon plasma piezo brush PZ3-i Manual De Instrucciones página 65

• Plasma OK
Ausgang mit Rückmeldung über den Plasmazustand.
In einem zulässigen Betriebszustand liegen 24 V an diesem Ausgang an.
Im ausgeschalteten Zustand oder im Fehlerfall liegen 0 V an.
Maximale Belastbarkeit 20 mA.
Achtung
Das PlasmaOK Signal prüft lediglich, ob das Wechselmodul in einem zulässigen Feld von
Betriebsparametern betrieben wird und eine Plasmaentladung stattfindet. Es prüft NICHT
ob die Aktivierungsleistung auf dem Substrat ankommt bzw. ob der gesamte Prozess
„OK" ist.
• Error
Ausgang mit Rückmeldung über den Fehlerstatus.
Im Fehlerfall liegen 24 V an diesem Ausgang an.
In zulässigen Betriebszuständen liegen 0 V an.
Maximale Belastbarkeit 20 mA.
7.3 Fehlerquittierung
Der Fehlerstatus bleibt auch nach Deaktivierung des „Plasma ein" Signals aktiv. Ein
Zurücksetzen nach Behebung des Fehlers kann nur durch Wegnahme der 24 V
Spannungsversorgung auf der Anschlussleitung DC erfolgen.
Für einen erneuten Start der Plasmaerzeugung muss das Schaltsignal „Plasma ein"
erneut eingeschalten werden.
7.4 Einsetzen / Entnehmen des Wechselmoduls
Die Wechselmodule sind zur einfacheren Unterscheidung mit Aufklebern in
unterschiedlichen Farben versehen. Bitte entfernen Sie diese Aufkleber nicht.
Vorsicht – elektrische Spannung!
Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung bei einem Modulwechsel getrennt
ist. Fassen Sie nicht in das Geräteinnere bei entnommenem Wechselmodul.
Vorsicht – heiße Oberfläche!
Manche Wechselmodule können durch den Betrieb heiß werden. Berühren Sie diese
erst nach Abkühlung und achten Sie bei der Arbeit mit den Wechselmodulen darauf,
thermische empfindliche Oberflächen nicht zu schädigen.
Um ein Wechselmodul einzusetzen, nehmen Sie dieses aus der Verpackung und greifen
Sie es nur äußerlich im Bereich des Düsenaustritts, ohne dabei das Piezoelement zu
berühren (Bild 1).
Achten Sie darauf, dass die Kontaktplatine des Wechselmoduls auf der gleichen Seite
wie der Aufkleber des Modulträgers sein muss, damit das Einsetzen möglich ist.
Drehen Sie den Arretierring am Modulträger nach links in die Position „offen" (rot). Setzen
Sie das gewünschte Wechselmodul in den Modulträger ein. Greifen Sie es hierzu von
außen im vorderen Bereich wie im Bild dargestellt, ohne das Piezoelement zu berühren.
Mit dem Aufkleber nach oben zeigend kann das Wechselmodul einfach in den
Modulträger eingeschoben werden. Achten Sie darauf, dass das Wechselmodul so tief
eingesetzt wird, wie im Bild dargestellt. Drehen Sie den Arretierring am Modulträger nach
rechts in die Position „geschlossen" (grün).
66 BA-PZ3_i_ML / F0354902